大家知道怎么開機氦質譜檢漏儀嗎？接下來小編就為大家介紹一下：
1、將總電源轉到“前級泵”，低真空表頭指示值應從左向右逐漸上升至2~15Pa，開抽速閥，開漏孔開關，表頭示值也應能抽到原來位置，再關抽速閥。
2、將總電源轉到“擴散泵”，燈亮，擴散泵開始加熱。
3、等20分鐘左右，擴散泵排氣管應熱，開冷規開關，“質譜室壓強”表頭指針應從左打向右(即冷規已激發)再關冷規。
4、開抽速閥，過幾分鐘后開冷規，表頭指針應從左打向右，再從右向左逐漸上升(真空示值在1×10-2Pa以下請不要長時間開冷規，可等一會兒再開)，當真空示值超過1×10-2Pa后，可啟動燈絲，燈亮，“發射電流”有指示，開、關漏孔檢查氦質譜檢漏儀靈敏度(可調加速電壓使信號指示Zda)，靈敏度達要求后關漏孔。
5、將工件用外接泵抽上真空后，開節流閥至冷規指示值為5×10-3~1×10-2Pa之間，對工件噴氦檢漏。檢漏完，關節流閥。
以上就是有關怎么開機氦質譜檢漏儀的步驟，希望對大家有所幫助。
